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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:矩形腔室磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-Load Lock
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
矩形腔室磁控濺射鍍膜儀是一種利用磁控濺射技術(shù)進行薄膜沉積的高精度設(shè)備
詳情介紹:

矩形腔室磁控濺射鍍膜儀是一種利用磁控濺射技術(shù)進行薄膜沉積的高精度設(shè)備。其核心原理是通過在真空環(huán)境下,利用高能離子轟擊靶材,使靶材原子或分子濺射出來并沉積在基片表面,形成均勻的薄膜。該設(shè)備采用矩形腔室設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,且配備過渡艙,便于樣品的裝載和卸載,減少對主腔室真空環(huán)境的干擾,提高鍍膜效率和質(zhì)量。

過渡艙的設(shè)計使得設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),特別適用于需要高真空環(huán)境和多批次處理的鍍膜工藝.

磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域:

1.光學(xué)薄膜

用于制備增透膜、反射膜、濾光片等光學(xué)器件。

應(yīng)用于鏡頭、激光器、太陽能電池等領(lǐng)域。

2.電子器件

用于半導(dǎo)體器件、集成電路、顯示面板(如OLEDLCD)的金屬或介質(zhì)薄膜沉積。

制備導(dǎo)電層、絕緣層或保護層。

3.裝飾與功能性涂層

用于手表、手機外殼等裝飾性鍍膜(如金屬光澤、彩色涂層)。

功能性涂層如耐磨、耐腐蝕、防指紋等。

4.能源領(lǐng)域

用于太陽能電池、燃料電池的電極或催化層制備。

薄膜鋰電池的電極材料沉積。

5.科研領(lǐng)域

用于新材料開發(fā)、薄膜性能研究(如磁性薄膜、超導(dǎo)薄膜等)。

磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品優(yōu)點:

1.高效率

Load-Lock系統(tǒng)顯著縮短了樣品更換時間,提高了設(shè)備利用率。

2.高薄膜質(zhì)量

真空度高,污染少,薄膜純度高,附著力強。

均勻性好,適合大面積鍍膜。

3.多功能性

支持多種靶材(金屬、合金、陶瓷等)和反應(yīng)氣體,可制備多種功能薄膜。

兼容DCRF等多種濺射模式。

4.自動化與智能化

配備先進的控制系統(tǒng),支持參數(shù)預(yù)設(shè)、過程監(jiān)控和數(shù)據(jù)記錄。

操作簡便,適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。

5.可靠性高

設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,維護成本低,使用壽命長。

6.環(huán)保與**

采用封閉式設(shè)計,減少氣體泄漏和環(huán)境污染。

符合工業(yè)**標準。

磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

矩形腔室磁控濺射鍍膜儀帶過渡艙

Load Lock腔體

? 300 *180 mm

磁控DC濺射電源

Max. 500W

樣品臺

8英寸樣品臺。可以實現(xiàn)樣品臺自動上下升降(可調(diào)范圍不低于40mm),以及樣品臺的旋轉(zhuǎn)(速度 0-60 RPM可調(diào))

流量計

100 SCCM Ar/N2

靶槍數(shù)量

23英寸靶槍,配備獨立擋板

泵組抽速

>7m3/h 干泵+250 L/S 分子泵


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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