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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型磁控濺射鍍膜儀上置靶槍

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ254-II-DCRF-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
磁控濺射鍍膜儀是一種先進(jìn)的物**相沉積設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、顯示技術(shù)和表面工程等領(lǐng)域。該設(shè)備采用磁控濺射技術(shù),通過磁場增強(qiáng)離子化效率,從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、均勻的薄膜沉積。
詳情介紹:
磁控濺射鍍膜儀是一種先進(jìn)的物**相沉積設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、顯示技術(shù)和表面工程等領(lǐng)域。該設(shè)備采用磁控濺射技術(shù),通過磁場增強(qiáng)離子化效率,從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、均勻的薄膜沉積。

磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品特點(diǎn):

?    高效鍍膜:采用磁控濺射技術(shù),沉積速率高,薄膜均勻性好。
?    多功能應(yīng)用:支持多種靶材和基材,適用于不同材料的薄膜沉積。
?    智能控制:配備先進(jìn)的控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的工藝參數(shù)控制。
?    模塊化設(shè)計(jì):方便維護(hù)和升級(jí),可根據(jù)需求定制各種功能模塊。

?    環(huán)境友好:低能耗設(shè)計(jì),減少對(duì)環(huán)境的影響。

磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

參數(shù)名稱

參數(shù)說明

產(chǎn)品名稱

桌面型前開門雙靶磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ254-II-DCRF-SS

真空腔

腔體材質(zhì)

304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理

取放模式

前開門方式取放樣品和靶材

觀察窗

直徑100mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染

樣品臺(tái)

樣品尺寸

直徑≦100mm的平面樣品均可

旋轉(zhuǎn)速度

不旋轉(zhuǎn)和旋轉(zhuǎn)型(0-30RPM)可選

加熱溫度

RT-500;RT-800;RT-1000℃可選

磁控靶

靶槍類型

普通永磁靶,可調(diào)角度

靶材尺寸

直徑2英寸,厚度≦3mm,

濺射功率

300W

濺射方式

直流濺射

工作真空

0.3-3Pa

電源

直流電源 300W *2

濺射氣體

高純氬氣,純度99.99%

真空測量

復(fù)合真空計(jì),電阻規(guī)+電離規(guī),測量范圍:105-10-5Pa

真空獲取

前級(jí)泵

抽速 1.1L/S

分子泵

抽速  600L/S

膜厚測量

通常配CYKY膜厚測量儀

也可選配進(jìn)口品牌,價(jià)格額外計(jì)算

外形尺寸

550mm*350mm*450mm

包裝尺寸

770×720*730mm

包裝重量

110 KG

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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