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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型偏壓?jiǎn)伟写趴貫R射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ180PX-I-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本設(shè)備為帶偏壓的桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設(shè)備同時(shí)配有偏壓電源,可以用來(lái)進(jìn)行進(jìn)行濺射前的等離子清洗和濺射過(guò)程中施加偏壓
詳情介紹:

本設(shè)備為帶偏壓的桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設(shè)備同時(shí)配有偏壓電源,可以用來(lái)進(jìn)行進(jìn)行濺射前的等離子清洗和濺射過(guò)程中施加偏壓。

本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過(guò)程全向可視,便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄,腔體設(shè)計(jì)開(kāi)啟方便,易于清理,十分適合實(shí)驗(yàn)室使用。同時(shí)設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái),可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì),操作邏輯簡(jiǎn)單,操作界面直觀,利于上手。

偏壓?jiǎn)伟写趴貫R射鍍膜儀

單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型偏壓?jiǎn)伟?a href="http://www.wecham.com.cn/productID/plistone-3899900-1.html" class="keyword_inherit" name="keyword_inherit" target="_blank">磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ180PX-I-DC-Q

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

≦500℃

可調(diào)轉(zhuǎn)速

≦20rpm

磁控靶槍

配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級(jí)抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

射頻電源一套

輸出功率500

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X400mm


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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