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- 二硫化鉬制備
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- 混料機(jī)設(shè)備
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- 注射泵
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- 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù)：
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項(xiàng)目 |
明細(xì) |
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產(chǎn)品型號 |
CY-MSH300P-II-DCRF-SS |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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整機(jī)功率 |
3KW |
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極限真空度 |
10-6torr |
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載樣臺(tái)參數(shù) |
尺寸 |
φ140mm |
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加熱溫度 |
*高500℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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轉(zhuǎn)速 |
1-20rpm可調(diào) |
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磁控濺射頭參數(shù) |
數(shù)量 |
2個(gè)2”磁控濺射頭 |
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冷卻方式 |
水冷，所需流速10L/min |
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水冷機(jī)規(guī)格 |
10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī) |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ300mm X 300mm H |
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腔體材料 |
不銹鋼 |
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觀察窗口 |
φ100mm |
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開啟方式 |
上頂開式，便于更換靶材 |
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氣體流量控制器 |
2路分別通Ar，N2； 量程均為0-100sccm |
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真空泵 |
配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S |
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膜厚儀 |
石英振動(dòng)薄膜測厚儀一臺(tái)，分辨率0.10 ? |
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濺射電源 |
直流電源一臺(tái)，1000W，適用于制備金屬膜 射頻電源一臺(tái)，500W，適用于非金屬鍍膜 |
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操作方式 |
面板按鈕操作 |
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整機(jī)尺寸 |
1400mm X 750mm X 1300mm |
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整機(jī)重量 |
300kg |
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