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產品詳情
  • 產品名稱:三靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
產品簡介:CY-600-3HD三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研制開發的一款性價比較高的磁控濺射鍍膜儀,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。?
詳情介紹:

產品簡介:CY-MSH300-III-DCDCRF-SS三靶磁控濺射儀是我公司自主研制開發的一款性價比較高的磁控濺射鍍膜儀,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。 

技術參數:

項目

明細

產品型號

CY-MSH300-III-DCDCRF-SS

供電電壓

AC220V50Hz

整機功率

6KW

系統真空

5×10-4Pa

樣品臺

外形尺寸

φ150mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調轉速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ300mm,高度500mm

腔體材質

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統

配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W*2,射頻電源500W

控制系統

CYKY自研專業級控制系統

設備尺寸

600mm × 650mm × 1280mm

設備重量

350kg

 

豫公網安備 41019702002438號

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