迷你石墨烯CVD設備
本套CVD系統專為石墨烯生產設計，采用1200℃迷你管式爐，配有高精度質量流量計以及薄膜真空規。相比于常規的皮拉尼電阻規，薄膜規的讀數**，不受氣體種類影響，十分適合真空鍍膜工藝。同時設備配有可燃氣體檢測裝置，聯動出氣口電磁閥，一旦出現泄漏電磁閥即可自行關閉保證**。
該套設備功能**占地面積較小，十分適合實驗室規模的CVD制備。

特點

1.高精度質量流量計以及薄膜真空規。

2.可燃氣體檢測裝置，聯動出氣口電磁閥。

3.體積小巧

4.專為石墨烯生產設計

技術參數：

1200℃迷你管式爐	供電電壓	AC220V,50Hz
	功率	2KW max
	加熱溫區	單溫區200mm
	恒溫區長	100mm
	加熱元件	耐熱合金絲
	熱電偶	K型
	工作溫度	≤1150℃
	升溫速率	建議≤10℃/min
	控溫精度	±1℃
	控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護
	爐管材質	高純石英
	爐管尺寸	φ50mm O.D x 450mm L
	真空泵	機械泵  抽速1.1L/s
	極限真空	5Pa

三路浮子流量計	閥門類型	不銹鋼針閥
	氣路數量	三路
	承壓范圍	0.05~0.3MPa
	量程	Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm
	流量控制范圍	±1.5%
	混氣罐容積	750mL
	氣路材料	304不銹鋼
	管道接口	6.35mm卡套接頭
	供電電源	AC220V 50Hz