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一體式CVD系統設計緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**操作，該系統也能順利引導您很快掌握該CVD系統的使用和操作，您根本無需專業學習，為您節省大量的科研時間，真正做到事倍功半！
產品特點：
1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面
2、系統高度集成：各個部分均由軟件協同進行數據采集、交換、處理、輸出
3、可使實驗步驟程序化、自動化
技術參數：
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項目 |
明細 |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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MAX功率 |
5KW |
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加熱溫區 |
220mm+440mm+220mm |
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工作溫度 |
1100℃ （1200℃＜1h） |
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控溫精度 |
±1℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃/min |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護 |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ60mm O.D×1300mm L |
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氣體通道 |
三通道質量流量計 |
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氣體量程 |
A：100sccm B：300sccm C：500sccm |
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系統真空 |
5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵） |
