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一、技術特點：
1.多達六路探頭可同時監控，每路自由設置，既能獨立運行，也可聯合工作。
2.每路二組繼電器輸出，到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發源；
3.全觸摸屏操作顯示，簡單易用；
4.提供RS232/RS485接口，MODBUS RTU標準協議，多波特率可選，并配有專用控制軟件。
二、應用范圍：
適用于普通蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，特別適合多蒸發源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監控；
膜厚監控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現，使您能獲取完整的沉積數據，包括速率、厚度和鍍膜時間等。
三、主要參數：
CY-FTM-M4/M6多通道監控儀
晶振頻率
6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
顯示方式
5”彩色觸屏+1路數碼管顯示速率和實厚
操作方式
觸摸屏
厚度顯示范圍
0-99μ9999?
厚度實際分辨率
0.1?（鋁）
厚度顯示分辨率
1?
速率范圍
0-999.9?
速率顯示分辨率
0.1?/s
鍍膜層數
99層
探頭輸入
4路/6路（可同時工作）
工具因子
0.01-99.99
材料存儲
257+自定義10種
通 訊
RS232/RS485 MODBUS
RTU協議
擋板/源控制
每路2組觸點，到達厚度關擋板/蒸發源
鍍膜顯示
數值/速率曲線
鍍膜巡回次數
0-99
機箱尺寸
480×250×89mm(2U
19”機箱)
四、特殊功能：
（1）任意設置每一路的工作狀態，具有人工停止鍍膜功能；
（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比；
（3）顯示鍍膜結束后的監測厚度、晶振頻率、材料和層次。
