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產品詳情
  • 產品名稱:三源高真空蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EVH300-III-HHH-SS
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域: 金屬和介電膜 薄膜傳感器的制造 光學元件 納米與微電子 太陽能電池
詳情介紹:

三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。


 三源高真空蒸發鍍膜儀詳情介紹:

 本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。

 三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:

金屬和介電膜

薄膜傳感器的制造

光學元件

納米與微電子

太陽能電池

  三源高真空蒸發鍍膜儀技術參數:

產品名稱

三源高真空蒸發鍍膜儀

產品型號

CY-EVH300-III-HHH-SS

樣品臺

外形尺寸

直徑φ150mm

可調溫度

500

熱蒸發源

金屬蒸發源鎢舟3

蒸發電源

每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源可同時共蒸

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ300mm,高度400mm

觀察窗口

直徑φ100mm

腔體材質

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

膜厚測量

晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀)

真空系統

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復合真空計(電離規+電阻規)

系統真空

5×10-4Pa

控制系統

CYKY自研專業級控制器

其他參數

供電電源

AC380V,50Hz

整機尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整機功率

7KW

整機重量

350kg


豫公網安備 41019702002438號

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